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ASML花十年研發(fā)的“前道量測”是什么?

2021-02-10 15:00
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日前,全球光刻機龍頭ASML正式交付了一臺晶圓量測設備YieldStar 385。相比于售價動輒過億美元的光刻機,這臺新設備并未引起過多關(guān)注。但ASML已投入了十年的研發(fā)。 | 相關(guān)閱讀(36氪)
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Resiyne

Resiyne

生命不息,奮斗不止

在光刻機領域,荷蘭的阿斯麥是市場霸主。在中高端光刻機市場,ASML的市場占比能達到80%以上,而在EUV光刻機領域,只有ASML能夠提供成熟的可商用產(chǎn)品,市場占比100%,處于絕對的壟斷地位。阿斯麥在芯片半導體領域是業(yè)界風向標,所以,這次阿斯麥推出的晶圓量測設備YieldStar 385,雖然不是光刻機設備,但是也足以引起業(yè)界重視。

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楊三

楊三

芯片制造領域的一個分支,似乎很少有公眾關(guān)注。了解前道量測,首先要明確測試對于芯片制造的重要性。企業(yè)能夠從測試結(jié)果的詳細數(shù)據(jù)中充分、定量地反映出每顆芯片從結(jié)構(gòu)、功能到電氣特性的各種指標,不僅能讓產(chǎn)品完美通過審核,還能有效地提高生產(chǎn)效率和成品率,極大地為企業(yè)節(jié)省生產(chǎn)成本。
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按半導體檢測工藝分類,可分為設計驗證、前道檢測、后道檢測,這個前道檢測是在晶圓制造階段就進行的,貫穿了芯片制造的始終(在芯片封裝階段會采用后道檢測),“在很大程度上決定了代工廠的競爭能力”。
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量測和檢測又有所不同。量測側(cè)重于“量”,在晶圓制造過程中量定薄膜厚度、膜應力、摻雜濃度、關(guān)鍵尺寸、套刻精度等關(guān)鍵參數(shù)是否符合要求,避免出現(xiàn)偏離設計值的情況。而檢測側(cè)重于“檢查”,即檢查生產(chǎn)過程中有無產(chǎn)生表面雜質(zhì)顆粒沾污、晶體圖案缺陷、機械劃傷等缺陷,同樣也能提高產(chǎn)品良率。

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